Pengenalan Pad Penggilap Lantai

Komposisi bahan pad pengisar lantai (juga dirujuk sebagai pad penggilap atau pad mengempelas) berbeza-beza bergantung pada aplikasi yang dimaksudkan dan peringkat khusus aliran kerja pemprosesan.

Pad pengilat-juga dikenali sebagai pad CMP atau pad perancang mekanikal-bahan kimia-berfungsi sebagai bahan guna teras dalam proses-Penggilapan Mekanikal (CMP) Kimia. Ia digunakan terutamanya untuk planarisasi permukaan substrat seperti wafer semikonduktor. Lazimnya dibuat daripada bahan seperti poliuretana, pad ini secara meluas dikategorikan-berdasarkan komposisinya-ke dalam jenis termasuk poliuretana,-fabrik bukan tenunan, bahan semula jadi dan bahan komposit. Dari segi sejarah, pasaran ini telah banyak dimonopoli oleh perusahaan asing; dalam pasaran domestik, Dinglong Co., Ltd. berdiri sebagai syarikat perwakilan dalam sektor ini.

Fungsi teras mereka semasa proses penggilapan melibatkan penghantaran buburan penggilap, menghantar tekanan, dan mengenakan geseran mekanikal pada permukaan wafer.

Pad pengilat biasanya menampilkan struktur mikro berliang, dengan corak alur khusus direka bentuk pada permukaannya untuk meningkatkan keseragaman penggilap.

Parameter prestasi utama-seperti kekerasan dan corak alur-adalah sifat kritikal pad penggilap, kerana ia secara langsung mempengaruhi kedua-dua kadar penyingkiran bahan dan kemasan permukaan akhir.